パーティクル
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ペンタゴンQIII

Pentagon Technologies 社が提供するQIII 表面パーティクル検出器(SPD)は、現在の表面パーティクルの計測と管理における業界標準となっている製品です。
QIII Max SPD / QIII ULTRA SPD は、昨今のクリーン環境で使用する為の、ペンタゴン社 最新技術が備わっております。

QIII Max Surface Particle Detector QIII Ultra Surface Particle Detector
QIII Max
スペック
◆特徴: 数秒で試料表面のパーティクルを検出
◆用途: ・精密洗浄パーツの出荷前・受入時の品質確認
・各種製造装置のクリーン維持管理
◆測定レンジ
 QIII MAX : 0.3/ 0.5/ 1.0/ 3.0/ 5.0/ 10.0 μm
 QIII ULTRA : 0.1/ 0.2/ 0.3/ 0.5/ 1.0 / 5.0 μm
 
MAXカタログ       Ultraカタログ

気中カウンタ

PMS(ParXcle Measuring System)は、1972年Robert Knollenberg により米国コロラド州Boulderに創立された、微小パーティクル測定、モニタリングのグローバルトップ企業です。最近では、半導体のデザインルールの進歩に伴い粒径10nmの気中パーティクルおよび20nm液中パーティクルを測定可能な製品を開発・リリースしました。
また、製薬・バイオ・食品業界向けに工場のクリーン環境を常時モニターする製品群もリリースし、あらゆる産業に対応できるラインナップを用意しています。

nano-id  

Nano‐ID NPC10 【New】

最小粒径感度10nm
クリーンルーム内での、製造および試験向けに開発されたナノパーティクルカウンターです。

III-110  

LasairⅢ‐110 【New】

最小粒径感度0.1μm。
空気清浄度のクラス検証から常時モニタリングまで使用できるパーティクルカウンターの最上位機種です。

III310B  

LasairⅢ 310B/310C/350L/5100

最小粒子感度0.3/0.5μm。空気清浄度のクラス検証に使用できる軽量で持ち運びが容易なパーティクルカウンターです。流量28.3L/minの310Cは切り替え器と併用して多点の常時モニタリングとしても使用できます。

総代理店(PMS JAPAN):スペクトリス㈱)PMS事業部 カタログ請求

 

 

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